無塵凈化車間最主要之作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵凈化車間。
凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵車間大部分是以工業(yè)鋁材做框架,采用風機濾網(wǎng)機組送風,頂部蓋著密縫盲板四周采用防靜的電垂簾形成一個密縫區(qū),內(nèi)部凈化級別可達100級~10萬級;特別適用于車間內(nèi)局部對潔凈度有嚴格要求的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高精確度產(chǎn)品組裝區(qū)。
按照無塵凈化車間管理規(guī)定,無塵凈化級別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子的數(shù)量來規(guī)定。換種解釋,所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是把灰塵控制在一個非常微量的單位上。而且這個標準中符合灰塵標準的顆粒與我們常見的灰塵相比較已經(jīng)是小到微乎其微。但是對于光學構(gòu)造來講,一點點的灰塵都可能會產(chǎn)生非常大的負面影響。因此在無塵凈化車間管理規(guī)定中說明在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,要求無塵凈化車間無塵是必然的。
無塵凈化車間的結(jié)構(gòu):
1、無塵凈化車間工程,由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成,它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù),調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。
2、風淋室、更衣室、凈化間是潔凈車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風淋室是進出潔凈區(qū)的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹脂鋪成。
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